Technologie vakuového měření je kritickou součástí vakuové vědy a techniky se zvyšujícími se požadavky v obranném i civilním sektoru. Zvláště důležité je přesné měření podtlaku. Vakuoměry jsou široce používány v průmyslové výrobě, polovodičových zařízeních, jaderném průmyslu a dalších oborech. Mezi světově uznávané výrobce vakuometrů patří MKS Instruments a INFICON. Existují dva běžné typy vakuometrů založené na principech jejich fungování: jeden je kovový kapacitní vakuoměr reprezentovaný technickým přístupem MKS a druhý je keramický kapacitní vakuometr reprezentovaný technickým přístupem INFICON. Obecně platí, že kovové kapacitní vakuometry nabízejí lepší výkon než keramické kapacitní modely, díky čemuž jsou rozšířenější.
Snímací prvek kovového kapacitního vakuometru se skládá z kapacitní struktury tvořené kovovou membránou o tloušťce přibližně 40 μm a keramickou elektrodou. Jak je znázorněno na obrázcích výše, kovová membrána je před svařováním natažena velkou tažnou silou, čímž se vytvoří struktura schopná odolat přetížení až stonásobku jmenovitého rozsahu. Když je na membránu aplikován podtlak, deformuje se a mění kapacitu mezi kovovou membránovou elektrodou a keramickou elektrodou. Změřením této změny kapacity a její kalibrací proti standardním referenčním hodnotám vakua lze určit absolutní hodnotu vakua. Pro zlepšení přesnosti měření je uvnitř dutiny umístěn getr.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. nezávisle vyvinula vakuoměr VG750, dosahující výkonu srovnatelného s produkty MKS a INFICON. Pokrývá rozsah měření od 1 Torr do 1000 Torr a byl široce používán v dávkových aplikacích v polovodičovém a jaderném průmyslu. Jeho výkonové specifikace jsou uvedeny v tabulce níže. Zúčastněné strany nás mohou kontaktovat pro zkušební použití.
Pro více informací navštivte naše webové stránky:mihuitec.com nebo se podívejte na stránku produktu: Čína VG750 Kovový kapacitní membránový měřič Výrobci Dodavatelé Factory - Nabídka - Mihui Tech.
