Snímače tlaku se používají k měření tlaku kapalin a plynů. Mezi běžné typy patří křemíkové piezorezistivní tlakové senzory MEMS, křemíkové rezonanční tlakové senzory MEMS, keramické kapacitní tlakové senzory, kovové kapacitní tlakové senzory, naprašované tenkovrstvé tlakové senzory{1}} a kovové tenzometrické tlakové senzory. Jejich provozní scénáře se liší v závislosti na pracovním principu.
MEMS silikonový piezorezistivní tlakový senzor:Jedná se o nejpoužívanější typ snímače tlaku. Jeho hlavní rozsah měření pokrývá 15 kPa až 100 MPa, s typickou přesností v rozsahu od 0,05 % FS do 3 % FS. Rozsah provozních teplot je obvykle -55 stupňů až 180 stupňů . Protože je kompatibilní s-rozsáhlými procesy výroby polovodičů, je levný. Pro měření kapaliny je zapotřebí izolační obal s olejem.
MEMS silikonový rezonanční tlakový senzor: Tento senzor využívá důmyslnou konstrukci, která převádí tlak na změnu rezonanční frekvence mikro-paprsku. Protože frekvence paprsku závisí pouze na jeho struktuře a teplotě a využívá filtračních efektů, dosahuje tento senzor vysoké výstupní přesnosti až 0,01 % FS. Jeho hlavní rozsah měření tlaku pokrývá 100 kPa až 40 MPa, s rozsahem provozních teplot -55 stupňů až 85 stupňů. Díky složité výrobě a vysokým nákladům je vhodný pro aplikace vyžadující extrémně vysokou přesnost, jako je zpracování polovodičů a měření hloubky oceánu.
Keramický kapacitní snímač tlaku:Keramický materiál nabízí vynikající odolnost proti opotřebení, díky čemuž je tento senzor vhodný pro měření tlaku ve směsích písku a kaše. Poskytuje také dobrou odolnost proti korozi a umožňuje měření korozivních kapalin, jako je kyselina sírová. Senzory tlaku na keramické bázi navíc vydrží zamrzání vody-, což je funkce, kterou nelze pomocí senzorů MEMS dosáhnout.
Kovový kapacitní snímač tlaku:Tento senzor využívá jako tlakově citlivou pohyblivou elektrodu kovovou membránu, která tvoří kondenzátor s pevnou elektrodou. Když tlak působí na membránu, mění se kapacita mezi elektrodami a vytváří se vztah mezi tlakem a kapacitou. Kovové membrány mohou být vyrobeny z korozivzdorných materiálů, jako je Inconel, a mohou měřit velmi nízké tlaky (0–1/10/100/1000 Torr). V důsledku toho má široké uplatnění ve vakuovém měření a měření speciálních plynů v polovodičovém průmyslu.
PrskáThin-filmTlakový senzor a kovový tenzometrický tlakový senzor:Oba senzory jsou vybaveny na sílu-citlivým materiálem potaženým na velkém kovovém povrchu, díky čemuž je produkt robustní a odolný. Jsou vhodné pro vysokotlaké rozsahy a aplikace vyžadující vysokou spolehlivost, jako jsou žluté zboží, dieselové motory a stroje na vrtání tunelů. Tyto snímače není snadné vyrobit jako snímač absolutního tlaku a obvykle mohou pokrýt maximální rozsahy až 200 MPa nebo vyšší. První obrázek nahoře ukazuje naprášené tenké-jádro snímače, zatímco druhý obrázek ukazuje kovové jádro tenzometru.
Výběr tlakového snímače musí být založen na skutečných provozních podmínkách, aby se plně využil jeho výkon. Mihui Technology se specializuje na tlakové senzory založené na různých principech a nabízí kompletní návrhové, výrobní a výrobní kapacity, aby zákazníkům poskytla nejvhodnější řešení. V případě zájmu nás kontaktujte:Telefonní číslo: +8618066965135; E-mail: mihuitec@gmail.com
