Na základě principu fungování lze tlakové senzory rozdělit do několika typů, včetně keramických kapacitních, kovových kapacitních, tenkovrstvých tenzometrů, tenzometrů, křemíkových piezorezistivních, křemíkových kapacitních a křemíkových rezonančních typů. Mezi nimi rezonanční tlakové senzory nabízejí nejvyšší přesnost a dosahují přesnosti až 0,01 % FS v celém rozsahu teplot (-40 stupňů až 85 stupňů). Díky své výjimečné přesnosti jsou široce používány v aplikacích vyžadujících extrémně vysokou přesnost tlaku, jako je měření hloubky oceánu, referenční tlakové normy, měření parametrů letu letadla a meteorologické monitorování. Důvody, proč křemíkové rezonanční tlakové senzory dosahují tak vysoce přesného měření tlaku, jsou následující:
1. Strukturou jádra křemíkového rezonančního tlakového senzoru je symetrický dvojitý-upínací křemíkový rezonátor. Rezonanční frekvence rezonátoru se mění s aplikovaným tlakem. Protože frekvence je vlastní vlastností pevných látek, je méně náchylná k nízkofrekvenčnímu šumu-a vykazuje minimální změny s teplotou. Tento přirozený efekt filtrování má za následek vysoký poměr signálu-k-šumu.
2. Dvojitá-struktura rezonátoru zajišťuje, že když rezonátor vibruje, čistá vnější síla je nulová. Navíc díky použití technologie anodického spojování MEMS pracuje celý rezonátor ve vakuovém prostředí a dosahuje vysokého faktoru kvality.
3. Během procesu návrhu jsou do tepelně citlivých oblastí rezonátoru začleněny-struktury pro uvolnění napětí, aby se minimalizovalo tepelné namáhání. To výrazně snižuje tepelné namáhání rezonátoru.
Produkty s křemíkovým rezonančním tlakovým senzorem Xi'an Mihui Technology dosahují vysoce{0}}přesného měření tlaku s přesností 0,01 % FS v celém rozsahu teplot. Nabízejí bezkonkurenční roční stabilitu 0,01 % FS a podporují jak frekvenční výstup, tak digitální výstup RS485. Tyto snímače pokrývají měření absolutního tlaku od 100 kPa do 1 MPa. Specifikace jsou následující:
Zájemci nás mohou kontaktovat prostřednictvím informací uvedených na našich webových stránkách.
